日本精工开发100℃环境下亦可高精度检测的角度传感器系统

　　

　　图：角度传感器系统。

　　在100℃高温下亦可以±10秒的绝对精度检测

　　日本精工开发出了在100℃的环境条件下亦可以±10秒的绝对精度检测的角度传感器系统。主要用于搬运设备、液晶制造设备、太阳能电池制造设备、半导体制造设备及汽车制造设备等的角度检测。

　　在开发并采用新的高精度补偿（误差补偿）算法的同时，还应用该公司生产的DD（直接驱动）马达“Megatorque Motor”上采用的“多极旋转变压器技术”，实现了与光学方式相同的高绝对精度。多极旋转变压器方式的特点是不易受振动、温度及油雾等的影响。通过这些措施，即使在高温条件下，也可获得高精度。

　　尽管是角度传感器，但通过采用4点接触的球轴承使其能够承受直接负荷，因此比原来更坚固、更易操作。另外，通过在轴承内侧配备小型旋转变压器，使高度较原来缩小了一半，只有35mm。旋转速度为600rpm，绝对角度的最小分辨率为0.5秒（262万等分）。

　　另外，该公司预定在2008年12月3～5日举办的“SEMICON JAPAN 2008”（幕张Messe会展中心）”上展出此开发品。